泄漏檢測方法有哪些?各自泄漏檢測方法的特點。

　　氣泡法

　　在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體，將工件沉放入水中(或者其它液體中)，觀察是否有氣泡溢出?；蛘咴诠ぜ砻嫱糠试硭?，觀察是否有氣泡產生。

　　氣泡法測漏的特點：落后，污染產品，效率低下，無法自動化。

　　壓力降法

　　在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體，靜止一段時間，再次檢測氣體的壓力，觀察壓力是否有降低，根據壓力的變化來判斷是否有泄漏。

　　壓力降法的特點：落后，效率極其低下，靈敏度最低。

　　壓力差法

　　原理與壓力降法類似，但方法更好。在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體，同時在一個標準罐體內通入同樣壓力的氣體，靜止一段時間，觀察標準罐體內的壓力與工件內的壓力差。這個比壓力降法的精度要高，它可以排除環(huán)境溫度變化帶來的壓力偏差。但市面上現有的壓差表分辨率只有100~1000pa。

　　壓力差法的特點：靈敏度有所提高，效率也不高。

　　泄漏收集法

　　適合閥類產品，一側(腔體)加壓，另一側(腔體)收集泄漏氣體且盡可能減小腔體體積，以增加單位泄漏量下的壓力的變化速度。

　　泄漏收集法的特點：效率一般。

　　超聲波探測法

　　原理是泄漏點會產生超聲波，使用超聲波探測儀即可找出泄漏點。這個適用于尋找氣體管路泄漏點的檢測。

　　超聲波探測法的特點：精度很差，最小只能探測到3公斤壓力下100um孔徑的泄漏，這時的泄漏速度有100000立方毫米/秒以上。

　　鹵素氣體檢漏法

　　將一定壓力的鹵素氣體通入密閉的工件腔體中，在工件外部用鹵素探測儀檢測是否有鹵素氣體泄漏。

　　鹵素氣體檢漏法的特點：精度尚可，能探測到的最小泄漏速度大約為10~20立方毫米/秒，效率一般，要在所有表面掃描探測。

　　氫氦氣檢漏法

　　原理與鹵素氣體檢漏法類似，不同的是使用分子量更小，運動速度更快的氫氦氣體，所以靈敏度更高。在20℃標準大氣壓下，水分子的運動速率約1~2m/s，氧氣分子運動速率約460m/s，氫分子運動速率約1600m/s。將一定壓力的氦氣，通入密閉的工件腔體中，然后使用氦質譜儀檢測工件的腔體周圍是否有氫氦元素泄漏，這個是目前高精度檢漏所用的方法，比起前面幾個方法來說，精度提高了很多，當然，成本也很高。

　　氫氦氣檢漏法的特點：靈敏度最高，在真空模式下，每秒泄漏超過1億個氣體分子時，就能探測到，在標準大氣壓下約5立方微米/秒，或10^-13立方米*帕/秒，若在大氣模式下，靈敏度減少4個數量級，約0.05立方毫米/秒。不僅設備昂貴，而且需要消耗昂貴的氦氣，要配置真空泵等，效率尚可，使用時要在所有表面掃描探測。